1. (2024九下·深圳开学考) 近几年，深圳实行“一芯两核多支点”发展战略，通过科技创新打造“湾东智芯”。三氟化氮(NF₃)是一种优良的等离子蚀刻气体，用NF₃蚀刻碓芯片时的产物均为气体，在芯片表面没有任何残留物。该反应的微观示意图如下，下列有关说法正确的是（ ）