1. (2020·天台模拟) 光刻机是芯片制造的核心设备之一，其工作原理如图所示。下列说法正确的是（ ）

①缩图透镜是凸透镜，晶圆相当于光屏；

②掩膜在晶圆上的像是正立缩小的虚像；

③要想晶圆上的像变小，需将掩膜和晶圆向上移动；

④将掩膜和晶圆向下移动相同距离，晶圆上还能成清晰的像。