1. (2022·密云模拟) 高纯CO可用于半导体领域某些芯片的刻蚀，利用甲酸（HCOOH）制取高纯CO的主要流程如图：

1. （1） 甲酸中含有种元素。
3. （2） 反应器中甲酸发生分解反应，生成一氧化碳和水，写出此反应的化学方程式。
5. （3） 同时，反应器中还会发生副反应产生微量的CO₂气体，这些CO₂是在（填写设备名称）中被除去。