1. (2015九上·密云期末) 硅（Si）是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料．利用石英砂（主要成分为SiO₂）生产高纯硅（Si）的流程图如下（整个制备过程必须达到无水、无氧气）．

提示：Si+3HCl  SiHCl₃+H₂↑

回答下列问题：

1. （1） 三氯甲烷（SiHCl₃）是由种元素组成的物质；
3. （2） 在H₂和SiHCl₃反应的过程中若混入O₂ ， 可能引起的后果是．
5. （3） 以上生产高纯硅的流程中，可循环使用的物质是．