1. (2020高三上·黑龙江开学考) 硅在地壳中的含量较高，硅及其化合物的开发由来已久。高纯硅是现代信息、半导体和光伏发电等产业都需要的基础材料。工业上提纯硅有多种路线，其中一种工艺流程示意图及主要反应如下：

 

1. （1） 工业上用石英砂和焦炭在电弧炉中高温加热到1600℃-1800℃生成粗硅的化学方程式为。
3. （2） 在流化床反应的产物中，SiHCl₃大约占85%，还有SiCl₄、SiH₂Cl₂、SiH₃Cl 等，粗硅生成SiHCl₃的化学反应方程式_。
5. （3） 有关物质的熔沸点数据如下表，提纯SiHCl₃的主要工艺操作依次是沉降、冷凝和_；

   SiHCl₃极易水解且生成某种可燃性气体，其完全水解的产物为_。

   物质	Si	SiCl4	SiHCl3	SiH2Cl2	SiH3Cl	HCl	SiH4
   熔点/℃	1410	-70.4	-126.5	-122	-118	-114.2	-185
   沸点/℃	2355	57.6	31.8	8.2	-30.4	-84.9	-111.9

7. （4） 还原炉中发生的化学反应为： 。.
9. （5） 上述工艺生产中循环使用的物质除Si、SiHCl₃外， 还有_。